-
Российские ученые совершили прорыв в области оптической печати, предложив инновационный тип литографии высочайшего разрешения — электрохимическую рентгеновскую литографию.
Исследователи факультета наук о материалах МГУ имени Ломоносова во главе с Андреем Елисеевым опубликовали в журнале Angewante Chemie работу, посвященную оптической бесконтактной печати нового поколения (метода формирования на поверхности подложки электронных схем и наноструктур), которая должна стать ответом на вызов, брошенный производителями микроэлектроники.
В своем стремительном развитии микроэлектроника сталкивается с массой технологических проблем, и одна из них — совершенствование видов литографии, необходимое для дальнейшего уменьшения размеров электроэлементов.
