Портфельная компания «Роснано» выпустила новую систему электронно-лучевого напыления

Группа «Научное и технологическое оборудование» (бренд SemiTEq) — одна из портфельных компаний «Роснано» — выпустила обновленную систему электронно-лучевого напыления STE EB71. Это модернизированная версия шлюзовой сверхвысоковакуумной системы электронно-лучевого напыления, которая была создана специалистами компании в 2008 году. Разработка используется при производстве приборов микро- и оптоэлектроники.

Установка STE EB71 представляет собой полностью автоматизированную станцию электронно-лучевого напыления высококачественных тонкоплёночных композиций в сверхвысоком вакууме.

Система разрабатывалась в идеологии «lab to fab» и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В конструкцию также заложена возможность комплексирования и встраивания в состав роботизованных вакуумно-технологических кластерных систем.

«Целый ряд успешных инсталляций за последние 7 лет продемонстрировал эффективность данной для решения задач, требующих глубокого предпроцессного вакуума. По результатам технологической эксплуатации STE EB71 в конструкцию был внесен ряд доработок, которые позволили расширить технологические возможности установки, а также существенно улучшить удобство эксплуатации и технического обслуживания», — пояснили в НТО.

В частности, расстояние от мишени до подложки было увеличено до 500 мм, чтобы снизить воздействие процесса напыления металлов на электронные резисты. Рабочую высоту обслуживания специалисты НТО снизили на 180 мм. Доступ для монтажа и обслуживания ионного источника был максимально упрощен, а параллельно расширены возможности программы автоматического управления процессом напыления.

Компания НТО разрабатывает и поставляет оборудование вместе с базовыми технологическими процессами, которые позволяют реализовать концепцию быстрого технологического запуска на предприятии.

Хочешь всегда знать и никогда не пропускать лучшие новости о развитии России? У проекта «Сделано у нас» есть Телеграм-канал @sdelanounas_ru. Подпишись, и у тебя всегда будет повод для гордости за Россию.