«Росэлектроника» разработала технологию высокочистых газов для производства микроэлектроники

Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создавать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники.

Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных — фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии „Росэлектроники“ призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», — сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.

На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.

Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления — не менее 12 месяцев.

«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», — рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.

НПП «Салют» в составе «Росэлектроники» занимается разработкой и изготовлением сверхвысокочастотной аппаратуры.

Хочешь всегда знать и никогда не пропускать лучшие новости о развитии России? У проекта «Сделано у нас» есть Телеграм-канал @sdelanounas_ru. Подпишись, и у тебя всегда будет повод для гордости за Россию.