Наука

Установка фотолитографии НИИПМ г. Воронеж

Для фотолитографических процессов был разработан модульно-кластерный комплекс субмикронной литографии (КФЛ). Уникальность данной установки состоит в том, что все виды фотолитографической обработки объединены единым транспортным устройством в виде робота-манипулятора. Подобные решения в области автоматизации технического процесса были в дальнейшем применены в разработке автоматизированного комплекса для сборки и испытаний солнечных батарей.

Так же в области фотолитографии была разработана и произведена для заказчика установка формирования фоторезистивных пленок «УФП-100М». Особенностью данного оборудования состоит в том, что загрузка пластин из кассеты осуществляется автоматически транспортной системой с последующим переносом пластин с позиции на позицию. Очистка пластин осуществляется применением мегазвука. Термостабилизации пластин осуществляется как на холодной так и на горячей плите.

Для плазмохимических процессов спроектирован автомат скоростного плазмохимического травления «ПЛАЗМА-150». Здесь происходит травление пленок SiO₂, ACC, поли-Si, Si₃N₄ через фоторезистивную маску. Данная установка позволяет получать минимальный размер топологического рисунка до 0,6 мкм. Система оснащена микропроцессорным контролем параметров технологического процесса, автоматическим контролем давления, расхода газа, ВЧ-мощности. Частота используемого генератора составляет 13,56 МГц, а диаметр обрабатываемых пластин — 100 и 150 мм.

В 2012 году для нано-технологического центра МИЭТ был разработан полуавтомат плазмохимического удаления фоторезистивных масок в технологии производства изделий электронной техники и МЭМС, после формирования топологического рисунка на пластинах диаметром 100, 150 мм — «ПЛАЗМА-150МТ». В состав установки входят реактор с системой возбуждения плазмы и устройством предварительного разогрева обрабатываемых пластин. Вакуумная система установки спроектирована на основе использования сухого безмасляного механического насоса. Система управления установкой реализована на основе двухуровневой системы управления.

Хочешь всегда знать и никогда не пропускать лучшие новости о развитии России? У проекта «Сделано у нас» есть Телеграм-канал @sdelanounas_ru. Подпишись, и у тебя всегда будет повод для гордости за Россию.

Источник: http://vniipm.ru/ru/

Вступай в наши группы и добавляй нас в друзья :)

Поделись позитивом в своих соцсетях

Другие публикации по теме

электроника

3
~~Jub~~
03.09.1917:29:43

600 нанометров на 100мм конечно не 6 на 300мм, но для производства диодов, солнечных батарей и т. п. штука безусловно полезная

#1154816 ↑

3
termometrix
03.09.1917:32:09

Да.А и скорость процессоров во многом зависит и от архитектуры,не только от техпроцесса.Самое важное и мы можем,сделали,и то в условиях дефицита ресурсов и финансирования.

Отредактировано: termometrix~18:17 03.09.19

#1154818 ↑

2
~~Jub~~
03.09.1918:10:00

А и скорость процессоров во многом зависит и от архитектуры
На самом деле мало зависит, частота рулит и бибикает.
Исключения есть, и важные, но это именно исключения. Везде где нельзя разделить задачу на 100500 независимых операций над небольшими матрицами, и нет ограничений по питанию — частота побеждает безоговорочно.

Отредактировано: Jub~18:13 03.09.19

#1154827 ↑

1
termometrix
03.09.1918:20:20

С помощью реконфигурации можно.А будут и новости,интерференции частот например.
Но конечно и частотная характеристика имеет свое значение,никто не отрицает,важное.
Мультиклеточная архитектура,российский патент, например ,опережает кассическую-частотную фон Неймана.Факт.

Отредактировано: termometrix~18:20 03.09.19

#1154830 ↑

0
~~Jub~~
03.09.1919:41:43

Мультиклеточная архитектура,российский патент, например ,опережает кассическую-частотную фон Неймана
Пока задачи можно разбивать на независимые операции, побеждает. Как только линейная последовательность операций — все, имеет значение только частота и больше ничего.
К сожалению таких задач мало.
К счастью это важные задачи обработки сигналов так что место под солнцем есть.
К сожалению это место сугубо «под капотом», как служебные процессоры, не универсальные и (пока?) не графика.

#1154852 ↑

0
termometrix
03.09.1920:49:28

К сожалению таких задач мало.
Конечно Вы правы все зависит от поставленных задач.
Я бы не сказал,что необходичость разгрузки объема задач мало.Думаю,наоборот.Любая задача можно разделить на несколько подзадач.
"Миф о мегагерцах" (иногда «Миф о гигагерцах») — выражение, отражающее распространённое среди потребителей заблуждение о том, что процессоры с более высокой тактовой частотой всегда имеют более высокую производительность, чем процессоры с более низкой тактовой частотой, и получившее популярность в основном благодаря компании Apple, использовавшей в компьютерах Macintosh процессоры PowerPC, работавшие на частоте, значительно меньшей, чем конкурирующие процессоры Intel Pentium 4[1].
На самом деле, сравнение производительности на основании сравнения тактовых частот справедливо лишь для процессоров, имеющих одинаковую архитектуру и микроархитектуру.
Компания AMD в документе, призванном развенчать миф о мегагерцах, приводит следующую формулу для сравнения производительности процессоров разных архитектур: производительность равна количеству инструкций, исполняемых за один такт, умноженному на тактовую частоту процессора
Миф уходит корнями в 90-ые, когда многие пользователи, дабы не разбираться в непонятных Intel 386, 486 и Pentium просто смотрели на частоту — если у какого-то процессора она была выше, то он действительно оказывался быстрее. Однако сейчас это в общем и целом не верно: процессоры могут иметь различные архитектуры с абсолютно разной производительностью на герц, поэтому какой-нибудь Apple A7 с частотой в 1.3 ГГц оказывается на уровне Snapdragon 800 с частотой в 2.2 ГГц и в этом нет ничего странного. Но если речь идет о процессорах одного поколения и одной линейки, то это в целом работает: так, i5-8400 с частотой в 2.8 ГГц действительно медленнее i5-8500 с частотой в 3 ГГц.
Comparisons between PowerPC and Pentium had become a staple of Apple presentations. At the New York City Macworld Expo Keynote on July 18, 2001, Steve Jobs described an 867 MHz G4 as completing a task in 45 seconds while a 1.7 GHz Pentium 4 took 82 seconds for the same task, saying that «the name that we’ve given it is the megahertz myth». He then introduced senior hardware VP Jon Rubinstein who gave a tutorial describing how shorter pipelines gave better performance at half the clock rate.
Все относительно.

Отредактировано: termometrix~21:08 03.09.19

#1154873 ↑
1
абрамыч
04.09.1910:29:32

Мозг всех животных,включая человека на мультиклеточой архитектуре.Она эфективней последовательной.

#1154992 ↑

3
Zzepp
03.09.1917:58:24

В любом случае, это очень, очень приятно, что принципиально такие устройства строить не разучились.

#1154825 ↑

0
termometrix
03.09.1918:08:34

Именно.Поэтому опубликовал.

#1154826 ↑

0
Strange Hunter
04.09.1913:31:21

Причём тут диоды и солнечные батареи? Для их производства фотолитография не нужна.

#1155029 ↑

1
termometrix
03.09.1919:43:39

Интересная разработка в США в духе независимой архитектуры.2011 г.
Чарльз Мур, создатель языка программирования Форт (Forth), довёл до стадии промышленного производства уникальную разработку — многоядерный процессор GA144. Чип размером !! 10×10 мм уже поступил в продажу по цене $20 (при заказе от десяти штук), также доступны материнские платы для него. Фактически, это аппаратное воплощение самого языка программирования Форт.
Крайне необычный процессор по ряду параметров не имеет себе равных среди CPU:
144 независимых ядра, которые активируются только при поступлении инструкции, то есть у этого процессора нет такой характеристики как «тактовая частота»;
скорость выполнения инструкций 1400 пикосекунд (эквивалент 700 МГц);
энергопотребление 7 пикоджоулей на одну инструкцию;
энергопотребление в «спящем» режиме менее 100 нановатт;
Многоуровневое программирование даёт возможность писать очень быстрый и простой микрокод либо использовать высокоуровневый язык программирования, либо сочетать оба этих метода в кластерах вычислительных ядер с указанием среди них «хостов» и «сопроцессоров» на выбор.
Специалисты пытаются понять, каковы целевые области применения GA144. Вариантов много:
робототехника (манипуляторы, протезы, автономные подвижные роботы);
искусственный интеллект и нейронные сети (классификация, распознавание сигналов/образов);
«бортовые системы» (диагностика состояния в реальном времени, контроль движения);
«академическое» применение (аппаратное обеспечение курсов цифровой обработки сигналов, параллельного программирования, архитектуры вычислительных систем);
распознавание и синтез речи;
модуляторы/демодуляторы сигналов.
Сам разработчик процессора дополняет этот список различными энергоэффективными приложениями (модуль беспроводного приёма энергии), портативными устройствами, системами обработки изображений, сложными управляющими системами, криптографией, высокопроизводительной обработкой сигналов, программами симуляции и синтеза и другими приложениями, которые нуждаются в массовом параллелизме.
https://habr.co...en/post/133291/

Отредактировано: termometrix~19:44 03.09.19

#1154856 ↑

1
termometrix
03.09.1919:46:53

Ну давайте покупать миллионы такие чипы и делать гибридные или реконфигурируемые суперЭВМ!Где смотрят наши в Минобороны,МЧС и пр. Очень выгодно.

Отредактировано: termometrix~08:51 04.09.19

#1154857 ↑

0
Александр Лебедев
04.09.1917:19:08

Простите… Вы охренеллли!!! Плазма 150 — разработка начала 90 — х ГОДОВ!!!

#1155107 ↑

1
VMichael
04.09.1910:41:06

Еще бы быть может в пром дизайне подтянулись малехо. А то несколько топорно выглядит.
Новости безусловный «+". Производство средств производства очень важно.

#1154995 ↑

Написать комментарий

Отмена

Для комментирования вам необходимо зарегистрироваться и войти на сайт,